実験用エキシマUV照射装置ブルーオーシャンテクノロジー

高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

【特徴】
・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性
・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射
・真空環境内でもエキシマランプの点灯可
・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減
・ランプ毎に照度調整が可能
・ランプ有効長：MAX G10サイズまで
【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】
ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能
【主な用途】
・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質
・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ
・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化
・レジスト除去、アッシング
・チップ、フィルム、基板接合面洗浄
【装置導入事例】
・G8サイズTFT基板成膜前洗浄装置
・ロールtoロール洗浄装置
・レジストアッシング装置

基本情報実験用エキシマUV照射装置

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用途／実績例	【特徴】・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射・真空環境内でもエキシマランプの点灯可・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減・ランプ毎に照度調整が可能・ランプ有効長：MAX G10サイズまで【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能【主な用途】・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化・レジスト除去、アッシング・チップ、フィルム、基板接合面洗浄【装置導入事例】・G8サイズTFT基板成膜前洗浄装置・ロールtoロール洗浄装置・レジストアッシング装置