株式会社アルバック／ULVAC, Inc. ドライ真空ポンプGRシリーズ
- 最終更新日：2016-01-27 17:42:11.0
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一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。
大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。
高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。
【ラインナップ】
○GR60A
○GR90A
○GR180A
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報ドライ真空ポンプGRシリーズ
【特徴】
○大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での
連続運転などの高負荷用途に使用可能
○高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適
○汎用インダクションモータに対応
○防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能（オプション）
○マルチ電圧対応モータを採用
→ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください
（GR180Aは共通モータ）
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気 ○各種成膜装置の仕込取出室の排気 ○真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途 ○真空断熱やガス充填などの真空ガス置換 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログドライ真空ポンプGRシリーズ
取扱企業ドライ真空ポンプGRシリーズ
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ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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