株式会社アルバック/ULVAC, Inc. ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック/ULVAC】

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能(オプション)です。

【ラインナップ】
○LR/HR60
○LR/HR90
○LR180
○LR421
○LR421-T ほか

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基本情報ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

【特徴】
○低温領域で均熱化(LRシリーズ)
→PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために
 排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適
○高温領域で均熱化(HRシリーズ・URシリーズ)
→CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を
 気体の状態で排出することが可能
→URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能
○ヘリウムタイト
→キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全
○瞬停対策
→500msec以内の瞬停対策を施している
○優れた耐食性
→主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用
→腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減
○通信機能
→ポンプ運転状態に関するデータ、
 ワーニング/アラーム履歴を読み出すことが可能
→専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能
○CE対応可能
→CE対応はご発注時のご指定によるオプション

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納期 お問い合わせください
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用途/実績例 【用途】
○活性ガス排気(CVD、ドライエッチング等)
○不活性ガス排気(スパッタ、蒸着、熱処理等)
○仕込み取り出し室の排気時間短縮(LR シリーズ)
○粉体の発生するプロセスでの排気(Si 単結晶引き上げ等)
○補助排気ポンプとして
 (ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)

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カタログドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

取扱企業ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

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株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。

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