株式会社アルバック/ULVAC, Inc. ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
- 最終更新日:2016-01-27 17:43:12.0
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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック/ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能(オプション)です。
【ラインナップ】
○LR/HR60
○LR/HR90
○LR180
○LR421
○LR421-T ほか
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
【特徴】
○低温領域で均熱化(LRシリーズ)
→PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために
排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適
○高温領域で均熱化(HRシリーズ・URシリーズ)
→CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を
気体の状態で排出することが可能
→URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能
○ヘリウムタイト
→キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全
○瞬停対策
→500msec以内の瞬停対策を施している
○優れた耐食性
→主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用
→腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減
○通信機能
→ポンプ運転状態に関するデータ、
ワーニング/アラーム履歴を読み出すことが可能
→専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能
○CE対応可能
→CE対応はご発注時のご指定によるオプション
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用途/実績例 | 【用途】 ○活性ガス排気(CVD、ドライエッチング等) ○不活性ガス排気(スパッタ、蒸着、熱処理等) ○仕込み取り出し室の排気時間短縮(LR シリーズ) ○粉体の発生するプロセスでの排気(Si 単結晶引き上げ等) ○補助排気ポンプとして (ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
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