セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B アルバック／ULVAC, Inc.

メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】

UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

【ラインナップ】
○UTM300B（ISOフランジ型）
○ISO100-K フランジタイプ
○VG100 フランジタイプ
○ICF152 フランジタイプ

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関連リンク - http://www.ulvac.co.jp/products_j/components/vacuu…

基本情報セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

【特徴】
○取り付け方向自由
→取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がる
○オンボードコントローラ搭載
→コントローラはターボ本体に
　マウントされているため省配線と排気系の小型化に有効
○高圧縮比・高背圧
→圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能
○3種類のフランジを用意
→VG100、ICF152、ISO100-Kの３種類の吸気口フランジの選択が可能
○清浄な真空
→運転時はもちろん、
　ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしている
○低騒音
→無負荷運転時の騒音は５０ｄＢ以下と静か
　（ISO-100Kフランジタイプの測定値）
○適合規格
→CE、NRTL適合

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用途／実績例	【用途】 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系 ○H2、Heなどの軽ガスの主排気系 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。