ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP シリーズアルバック／ULVAC, Inc.

大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】

YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。

【特徴】
○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型
　(YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能
○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント
→復電しても、排気ユニットは動作しない
○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、
　10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー
○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、
　面倒なオイル交換やベアリング交換が不要

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.ulvac.co.jp/products_j/components/vacuu…

基本情報ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP シリーズ

【特徴】
○用途に合わせて各種シリーズを用意
→補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、
　ドライスクロールポンプを採用したDRY仕様がある
○清浄な高真空を実現
→ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油は飽和蒸気圧が
　10-11Pa台（20℃）で、DRY仕様とすることで限りなく清浄
○優れた停電対策
→フォアバルブに電磁弁を標準装備し停電時の逆流・故障を防止
○粗引き状況を確認可能
→ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能
○UHVまでの排気が可能
→オプションのベークジャケットを取り付け、
　脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気系として使用可能
○ランニングコスト低減
→ターボ分子ポンプのピボット軸受は面倒なオイル交換・補充や
　軸受交換が不要になり、ランニングコスト低減が可能

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用途／実績例	【用途】 ○大気圧から高真空の排気系 ○各種実験・研究用装置の排気系 ○高純度ガスの真空置換 ○超高真空装置の粗引き排気系 ○分析装置の排気系 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。