株式会社アルバック／ULVAC, Inc. デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

最終更新日：2016-01-27 17:51:00.0
印刷用ページ

デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVAC】

デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。
FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。

【特徴】
○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、
　デジタル化による集中管理システムへの対応が可能
○カップリングフリーシステムの搭載
→1台のパワーサプライで、
　機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能
○スピードバリアブルシステム搭載
→排気速度を25%〜100%の範囲で可変
○優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに
　向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能
　(FWシリーズ)
○破壊エネルギー吸収構造採用により、
　不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.ulvac.co.jp/products_j/components/vacuu…

基本情報デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

【特徴】
○350L/sから世界最大（デジタル磁気軸受型）の6300L/sまでの
　豊富なバリエーション
○背圧の変化に対して安定した排気特性を維持（FHシリーズ）
○ロータの温度管理を行い、副反応生成物の付着を低減させる
　内部昇温システムなどのオプション対応も可能（FWシリーズ）
○優れた耐食表面処理（3303FH・6300FHを除く）
→必要に応じ、特殊表面処理（Ｎｉめっき＋カチオン電着塗装、
　特殊積層皮膜、アルマイトなど）のオプション対応も可能
○全方向取付が可能
○スピードバリアブルシステム搭載により、
　ポンプ回転数を25～100％の範囲で可変可能
○カップリングフリーシステム、チューニングフリーシステムの搭載により、
　パワーサプライとポンプ本体の組み合わせやケーブル長の変更も自由
○バッテリーフリーシステム採用により、停電時のバックアップ電源は、
　回生エネルギーによる自己発電を使用（バッテリー交換などは不要）
○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、集中監視システムへの対応が可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報	お問い合わせ下さい。
納期	お問い合わせください ※お問い合わせ下さい。
用途／実績例	【用途】 [UTM-FH シリーズ] ○蒸着装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置などの　副反応生成物の無いライト～ミドルプロセスの主排気 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○上記排気系のH2・He などの軽ガスの主排気系 ○TMP を多連で使用し、バックポンプを集中排気で使用する用途 [UTM-FW シリーズ] ○ドライエッチング装置、CVD 装置などのミドル～ハード　プロセスの主排気系 ○ドライエッチング装置、CVD 装置、スパッタリング装置　などの大流量ガス排気用途 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。