G-TRANシリーズピラニゲージアルバック／ULVAC, Inc.

3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／ULVAC】

センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。

【仕様】
○LED表示　パワー、エラー、セットポイント1/2
○電源電圧　DC24V±2V, 90mA（Max.）
○入出力コネクタ　D-sub-15P（M2.6 screw）
○本体質量　190g（測定子含まず）
○付属品　入出力コネクタ 1式　取扱説明書 1部

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.ulvac.co.jp/products_j/components/vacuu…

基本情報G-TRANシリーズピラニゲージ

【特徴】
○トランデューサ仕様
→圧力表示器が不要な場合、真空計にかかるコストの低減化
　制御盤まわりの省スペース化、省配線化などを実現
○メンテナンス性
→測定子の交換が容易
○フィラメント材料：白金（Pt）の採用
→フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用
○測定子WPシリーズ使用可能
→今までお使いいただいている測定子（WP-01,02,03,16）が
　そのまま使用可能
○制御出力信号
→セットポイント2点の出力が可能
○測定値出力信号
→圧力は0 ～ 5V出力（非線形出力）
○電源電圧
→DC24V入力で作動可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報	お問い合わせ下さい。
納期	お問い合わせください ※お問い合わせ下さい。
用途／実績例	【用途】 ○半導体・電子部品をはじめとする　各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に ○炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に ○インライン式・枚様式のような多くのプロセス室をもつ各種　製造装置の低真空領域のプロセス制御用に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。