株式会社アルバック／ULVAC, Inc. 高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ
- 最終更新日：2016-01-27 18:09:10.0
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UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
【仕様】
○高速測定
→独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現
○可視分光対応
→波長範囲は標準タイプ（530nm〜750nm）および
可視分光タイプ(380nm〜760nm）から選択できる
○コンパクトなセンサユニット
→投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており
非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要ない
○豊富なラインアップ
→ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動／自動ステージタイプや
大型基板タイプ、大気／真空環境に対応した装置ビルトインタイプ
など、多様な用途に対応したラインアップを用意している
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ
【ラインナップ】
○U N E C S - P o r t a b l e （ポータブル）
→軽量・コンパクトなポータブルタイプ
○U N E C S - 1 5 0 0 M （手動ステージ）
→φ150mm対応の手動ステージタイプ
○U N E C S - 1 5 0 0 A / 2 0 0 0 A / 3 0 0 0 A （自動ステージ）
→マッピング測定が可能な自動ステージタイプ
○U N E C S - 1 M （ビルトイン）
→各種装置への組み込みが可能なビルトインタイプ
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カタログ高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ
取扱企業高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ
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ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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