株式会社アルバック／ULVAC, Inc. 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
- 最終更新日：2016-01-27 18:09:21.0
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CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。
ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。
【仕様】
○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm
○質量 約3.6kg
○ユーティリティー AC85 ～ 230V 50/60Hz
○消費電力 30W Max
○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと）
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
【特徴】
○2センサ接続
→シングルセンサを2本まで接続できる（同時計測は不可、切り替え式）
○高速サンプリング
→サンプリングレートが速い（125ms）ため、
レスポンスの良い制御が可能
○多層膜制御
→最大99層までの連続多層膜制御が可能
○99種類のデポジションプログラム
→最大99種類の蒸着シーケンスをプログラム／メモリが可能
○最大30個のプロセスプログラム
→プロセスプログラムは30個まで本体メモリへ保存可能
○上位通信
→上位通信用にRS-232Cを標準装備していますので、
PCからの制御が簡単に行える
○プログラマブルデジタル入出力
→12chのデジタル入出力信号がプログラム可能ですので、
装置への接続に自由度が持てる
○3chアナログ出力
→POWERの他、RATE、THKなど計3chの
プログラマブルアナログ出力を標準装備している
○きめ細やかな制御
→予備加熱や成膜速度制御がそれぞれ3段階まで入力できますので、
より細やかな制御が行える
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログ水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
取扱企業水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
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ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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