パルスレーザーアブレーション成膜装置　PLD-3000 フリーダム

1500℃昇温のレーザー加熱を採用したパルスレーザーアブレーション成膜装置。さらに進化しています。

有限会社フリーダム

1500℃昇温レーザー加熱システムを採用した最新型パルスレーザーアブレーション成膜装置です。実績のある安定したNd:YAGパルスレーザーを採用しメンテナンスは容易です。高性能、コンパクト、使いやすく自由度の多い設計となっています。
特長
○ レーザー加熱システムを採用し1500℃加熱を実現
○ ランプヒーター、SiCヒーターの1000℃加熱装置も用意　　
○ 安定でメンテナンスが容易なYAGレーザーを採用
○ 周波数解析可能なRHEEDシステム
○ コンパクトながら自由度が多く高性能
○ 10Pa～超高真空まで広範囲な圧力範囲で成膜可能
○ スパッタガンおよびMBEセル等の増設も可能
パルスレーザーアブレーション装置　PLD-3000

基本情報パルスレーザーアブレーション成膜装置　PLD-3000

1500℃昇温レーザー加熱システムを採用した最新型パルスレーザーアブレーション
成膜装置です。実績のある安定したNd:YAGパルスレーザーを採用しメンテナンスは容易です。高性能、コンパクト、使いやすく自由度の多い設計となっています。
特長
○ レーザー加熱システムを採用し1500℃加熱を実現
○ ランプヒーター、SiCヒーターの1000℃加熱装置も用意　　
○ 安定でメンテナンスが容易なYAGレーザーを採用
○ 周波数解析可能なRHEEDシステム
○ コンパクトながら自由度が多く高性能
○ 10Pa～超高真空まで広範囲な圧力範囲で成膜可能
○ スパッタガンおよびMBEセル等の増設も可能

価格	- ※お問い合わせください
価格帯	1000万円以上 5000万円未満
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	PLD-3000
用途／実績例	大学、研究機関などで新材料研究開発プロジェクトに多数使用されています。
よく使用される業種	セラミックス、産業用機械、電子部品・半導体、光学機器、試験・分析・測定

カタログパルスレーザーアブレーション成膜装置　PLD-3000

レーザー基板加熱システム

レーザー基板加熱システムは基板を短時間で1000℃以上に加熱できます。
真空チャンバー外からの加熱のためどのような雰囲気での実験も可能です。
特長
○ レーザー加熱を採用し短時間で1000℃以上の高温加熱を実現。
○ 任意のガス雰囲気で実験可能。
○ メンテナンスの容易なレーザーダイオード光源を採用。
○　レーザーアニール装置としても使用可能。
○ 光ファイバー導入で各種成膜装置に取付容易。

SiC基板加熱機構

○豊富な実績を持つ安定したSiCヒータを採用しています。
○1000℃以上の高温加熱が可能です。
○均熱性が良いヒータ構造です。
○酸素ガス雰囲気でも使用可能。
○アウトガスが少なく高真空対応可能。
○φ1インチからφ8インチまで対応可能。

超高真空キャリアケース・モバイルロードロックシステム

大気暴露により基本物性が変化してしまう物質やデバイスを超高真空環境のまま持ち運ぶことができます。乾電池で駆動する小型イオンポンプを開発し装備しています。反応活性な金属や半導体デバイスを分析・解析するため放射光施設Spring8などへ運ぶ際に使用されています。
特長
○大気に曝すことなく試料を持ち運ぶことができます。
○3次元電磁場構成と各種軽量剤の利用によりイオンポンプの大幅な小型化　と軽量化に成功
○消費電力の低減化技術により市販乾電池で駆動するイオンポンプを実現
○スーツケースに入れ航空機で海外へ移送することもできます。
本製品は(独)情報通信研究機構から特許の実施許諾を受けて制作しています。

金スポット蒸着器

金スポット蒸着器は基板の任意の位置にφ１ｍｍの金蒸着をしマーキングを
することができます。分析の際の位置確認やレファレンスとして便利です
○ 基板の任意の位置にφ1mmの金マーキングをすることができます。
○ 分析個所の位置確認が容易です。
○ 分析のレファレンスとしても便利です。
○ 水平から45度までの範囲でマーキングができます。

中空型Z軸上下機構

Z軸ストローク　　　　300mm
　有効内径　　　　　　98mm
　許容加熱温度　　　200℃
　取付フランジ　　　　ICF-152
　重量　　　　　　　　　25Kg
オプション
　Z軸ストローク50mm、100mm、200mm
　θ回転機構　XYステージ

リチウムスパッタ装置　LS-1500

リチウム金属をスパッタ成膜できます。全固体電池やリチウムイオン電池の研究、開発、試作の電極（陰極）作製に活躍します。グローブボックスと直結し大気中で取り扱いできない材料の成膜、デバイス評価および封止作業などが自由に行なえます。
特長
〇リチウム金属をスパッタ成膜できます。
○ 全固体電池やリチウムイオン電池のリチウム陰極の成膜に最適です。
○ ワンタッチでターゲット交換ができ作業が容易です。　
○ 水分や酸素との反応性が高い材料の真空成膜ができます。
○ ガリウム、カリウムなどの低融点材料の成膜ができます。
○ グローブボックスを直結し大気にさらすことなく材料を取り扱えます。
○　全固体電池の正極、電解質、陰極を連続して成膜試作生産できます。

製品ダイジェスト

製品ダイジェスト
リチウムスパッタ、パルスレーザーアブレーション装置、ランプ加熱など
ユニークな真空機器を提供しています。

ランプヒーター　LXシリーズ

ランプヒーターLXシリーズは近赤外ハロゲンランプで加熱します。
○ 酸素雰囲気で1000℃以上に基板を昇温加熱できます。
○ ほとんどのガス雰囲気中で使用可能です。
○　大気中から超高真空下まで使用できます。
○ Φ1“～Φ6”ウェハーおよび6インチ角基板まで対応できます。
○ 成膜装置の基板加熱やアニーリング装置に最適

取扱会社パルスレーザーアブレーション成膜装置　PLD-3000

有限会社フリーダム

国内初のリチウムスパッタ装置をはじめリチウム蒸着装置、パルスレーザーデポジション装置(PLD)等の各種成膜装置を取り揃えています。全固体電池、リチウム電池などのリチウム負極や電解質、正極の研究開発に貢献してまいります。また、1400℃以上に短時間で加熱できるレーザー加熱、1200℃加熱できるランプ加熱、SICヒータ等の加熱装置や可搬型軽量真空容器、液体気化供給システム等のユニークな真空機器を多々提供しています。