ジャパンクリエイト株式会社 枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』
- 最終更新日：2015-09-24 14:34:33.0
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ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。
全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。
『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。
ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。
【特長】
○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象
○ローダーより多関節ロボットを使用
○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』
【工程】
○Centering
○loader
○Etching+Rinse
○Etching+Rinse
○Mega+Rinse
○Rinse+N2
○unloader
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カタログ枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』
取扱企業枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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