ジャパンクリエイト株式会社 枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』
- 最終更新日：2015-09-24 14:49:20.0
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『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。
装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。
レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。
また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。
ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。
【特長】
○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象
○ローダーより多関節ロボットを使用
○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』
【工程】
[Resist coater]
○Centering
○loader
○HMDS
○Resist coater
○Bake
○Bake
○Bake
○Cool plate
○unloader
[Developing]
○Centering
○loader
○Developing
○Rinse
○Bake
○Bake
○Bake
○Cool plate
○unloader
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カタログ枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』
取扱企業枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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