ジャパンクリエイト株式会社 枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
- 最終更新日:2021-02-09 17:45:18.0
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『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される
RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。
ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに
採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。
【特長】
■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能
■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK
■急な仕様変更にも細かく対応
※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
【ラインアップ】
『RCAウエハ洗浄装置』のほかにも多数ラインアップしています。
■自動ウエハ洗浄装置
■自動エッチング装置
■自動基板用現像装置
■自動ウエハレジスト塗布装置
■自動角型基板レジスト塗布装置
■自動レジスト塗布現像装置
※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
取扱企業枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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