フィルム欠陥検査装置ブルーオーシャンテクノロジー

３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能。

【装置概要】
３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、
検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。
小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に
赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。
近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ加工の不均一性や
研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を
高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。

【装置特徴】
自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしており
マニュアルでの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来
ニーズに合った検査が可能です。用途によりソーマーク除去機能も
有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。

【装置アプリケーション】
●パターン付きウエハークラック検査
●ベアウエハークラック検査
●ウエハーエッジダメージ検査
●ＢＧ研磨痕の評価
●スラリーの評価
●ガラス基盤の応力残り
●ストレスレリーフの評価
●ＢＧテープのテンション検査
●化合物ウエハの歪みや傷検査

基本情報フィルム欠陥検査装置

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用途／実績例	●パターン付きウエハークラック検査 ●ベアウエハークラック検査 ●ウエハーエッジダメージ検査 ●ＢＧ研磨痕の評価 ●スラリーの評価 ●ガラス基盤の応力残り ●ストレスレリーフの評価 ●ＢＧテープのテンション検査 ●化合物ウエハの歪みや傷検査 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般