クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ「KTS型」宇野澤組鐵工所

省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ　　　

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。
耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。
オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。　　

【特徴】
○クリーンバキューム
○空冷式
○軽量・コンパクト
○水蒸気やミストに強い
○低騒音・低振動

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基本情報クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ「KTS型」

【ラインナップ】
○KTS015
→最大排気速度　280 L/min
→到達圧力　≦3 Pa
○KTS030
→最大排気速度　500 L/min
→到達圧力　≦3 Pa
○KTS060
→最大排気速度　1000 L/min
→到達圧力　≦3 Pa
○KTS300
→最大排気速度　5000 L/min
→到達圧力　≦0.5 Pa

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用途／実績例	【用途】 ○分析装置、理化学実験装置 ○真空乾燥装置 ○真空脱気・脱泡 ○真空冷却 ○ガス循環・回収装置 ○ガス置換 ○Heリークディテクタ ○電子ビーム加工機 ○真空吸着搬送 ○真空包装機 ○プラズマクリーニング装置 ○真空成形装置 ○蒸着装置、スパッタリング装置 ○ロードロック排気用 ○クライオポンプの粗引・再生 ○各種粗引き用、TMPのバックポンプ ○その他クリーンな真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。