株式会社アルバック／ULVAC, Inc. 技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79
- 最終更新日：2016-01-27 18:14:49.0
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ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。
大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発、リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発、マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプなどを掲載しています。
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【掲載内容】
○大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術
○結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発
○OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発
○リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発
○マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプ 他
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基本情報技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79
【技術資料】
○大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術
→ムービングカソードの特長
→同カソードにて成膜したIGZO膜の評価結果について
○結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発
→結晶太陽電池向けイオン注入装置PVI-3000Nの特徴
→注入特性及びマスクを用いたイオン注入のパターニング技術について
○OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発
→薄膜封止技術、装置構成
○リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発
→ラインアップ、製品の特長
→微小電流検出回路、電気系及びソフトウエア
○マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプ
→騒音値と消費電力、小型設計、構造
→非接触式カップリングの動力伝達構造
→吸気管直下型逆流防止弁の構造と原理
○4K冷凍機を使った無冷媒希釈冷凍機の共同開発
→希釈冷凍機の運転原理、無冷媒希釈冷凍機 他
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カタログ技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79
取扱企業技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79
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ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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