触針式プロファイラー　Alpha-Step D-500/600 アルバック／ULVAC, Inc.

低針圧測定！さまざまな試料表面を測定するプロファイラーです。【アルバック／ULVAC】

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
ワイドな垂直測定レンジ、優れた段差測定再現性。観察用カラーカメラ、キーストーン画像補正機能付。
充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。

【特徴】
○ワイドな垂直測定レンジ（最大1200μm）
○優れた段差測定再現性（1σ＝0.5nm/1μm段差）
○低針圧測定（0.03mg ～ 15mg）
○観察用カラーカメラ（4Xデジタルズーム付）
○キーストーン画像補正機能

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - https://www.ulvac.co.jp/products_j/components/thin…

基本情報触針式プロファイラー　Alpha-Step D-500/600

【仕様】
○型式：Alpha-Step D-500,Alpha-Step D-600
○測定長さ：30mm,55mm
○サンプルステージ直径：140mm,200mm
○XYステージ移動範囲
→D-500：80×20mm 手動
→D-600：150×178mm 電動プログラマブル
○θステージ：360°手動
○サンプル厚さ(最大)：20mm,30mm
○サンプル観察：視野3.76×3.12mm､4Xデジタルズーム付､サイドビュー
○段差測定再現性：1σ＝0.5nm (1μm標準試料)
○垂直測定レンジ(最大)：1200μm
○垂直測定分解能(最高)：0.038nm (2.5μmレンジ)
○針圧範囲：0.03～15mg
○触針先端半径：2μmR
○プロファイルデータポイント：120,000
○自動シーケンス測定：―,20サイトオプション：1,000サイト
○Apex 2D/3D解析オプション：2D オプション：2D/3D
○ストレス測定：オプション(2Dストレス)

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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納期	お問い合わせください ※お問い合わせください。
用途／実績例	【用途】 ○試料表面の段差(膜厚)、粗さ、うねり(ストレス)、形状の測定等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。