ステッピングモータ駆動式超精密減圧弁　「RS.M/Sシリーズ」藤倉コンポジット

感度0.1%F.S. ヒステリシス0.1%F.S.という高精度の空気圧制御

●独自構造により微細な圧力調整が簡単にできます。
●リリーフ感度が優れている為，高精度な圧力制御が可能です。
●5 相ステッピングモータ駆動により，1 ステップの駆動で設定圧をわずかだけ，確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば，圧力分解能0.1kPa 以下の高分解能設定が可能です。

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基本情報ステッピングモータ駆動式超精密減圧弁　「RS.M/Sシリーズ」

●優れた特性
リリーフ特性，圧力特性，流量特性が非常に優れています。
リリーフ最小圧力（リリーフ感度）は0.03kPa（理論計算値）
●優れた始動安定性
長時間使用しなかった後でも以前の設定のまま始動しますので、再調整は
必要ありません。
●長期間の圧力安定性
圧力設定後，設定圧を長期間正確に保持します。
設定後の圧力降下はほとんどありません。
●停電しても圧力を保持
突然の停電でも，2 次圧は設定圧を保持します。

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用途／実績例	精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 可動部の重量キャンセル　⇒液晶貼り合わせ、装置重量キャンセラー ● 精密押圧コントロール　⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械　⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等弊社シリンダ　【エアベアリングシリンダ】との組み合わせによりより高度な制御が可能になります！

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取扱企業ステッピングモータ駆動式超精密減圧弁　「RS.M/Sシリーズ」

藤倉コンポジット株式会社

当社の主要製品【工業用品】ダイヤフラム、BFダイヤフラム、シール部品、Oリング、アンブレラ、ダックビル、防振ゴム、水ガバナ、ガスケット【制御機器】エアシリンダ、レギュレータ（減圧弁）、流量調整弁、チェック弁、リリーフ弁、除振台、荷重制御ユニット、受託設計・組立【電気材料】超低硬度材料、各種機能性テープ、常温収縮テープ、導電・絶縁材料、風力発電機器用ブレード保護シート【引布】ゴム引布、極薄ゴムシート、接着・粘着処理、ラテックス【印刷材料】印刷用ブランケット【加工品】船舶用救命設備、航空機用救命設備、コンサベータ、産業用ゴム資材【スポーツ用品】ゴルフ用カーボンシャフト、各種ゴルフグッツ【その他】マグネシウム電池、産業用CFRP、荷重センサ、アウトドア用品