株式会社アライドマテリアル 基板研削用ダイヤモンドホイール 「ナノメイトプレミアム」
- 最終更新日：2016-01-12 10:46:08.0
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優れた砥粒保持力・砥粒分散性！生産性が向上するダイヤモンドホイール
基板研削用ダイヤモンドホイール 「ナノメイトプレミアム」での2軸(粗､仕上げ)研削はラッピング加工に対して数百倍の生産性を向上します。
#2000(平均粒径9μm)粗研削による連続加工では、送り速度120um/minでの連続加工を達成。
#8000(平均粒径0.5μm)仕上げ研削による連続加工では、低負荷加工と低砥石摩耗の両立を実現します。
【特徴】
○優れた砥粒保持力（濡れ性の良いボンド）
○優れた砥粒分散性
○ドレッシング不要
○ラップ加工面並みの加工面品位
○極薄ウェーハによるデバイス特性の向上
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基本情報基板研削用ダイヤモンドホイール 「ナノメイトプレミアム」
【仕様】
［研削ホイール］
○研削盤：ロータリ平面研削盤 RGS34N(不二越製)
○砥石サイズ：φ200-3W
○砥石仕様
→粒度：#8000
→平均砥粒径(μm)：0.5
→集中度：160
→ボンド：ビトリファイド
○被削材：4inch-BY-LT
○砥石周速度(m/s)：15.7
○送り速度(μm/min)：20
○取りしろ(μm)：20
○テーブル回転速度(min⁻¹)：300
○スパークアウト(sec)：5
○研削液：水
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カタログ基板研削用ダイヤモンドホイール 「ナノメイトプレミアム」
取扱企業基板研削用ダイヤモンドホイール 「ナノメイトプレミアム」
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○粉末合金事業（タングステン粉末、超硬合金） 〇熱マネジメント事業（タングステン製品、モリブデン製品、放熱基板） ○ダイヤモンド製品事業（切削工具、研削工具、伸線用ダイス）
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