吸着しながら加熱・冷却実験が可能!ローコスト化を実現する真空チャック
「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。
ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。
加熱したままでのウェハーの通電耐久テストに使用できます。
【特徴】
○加熱冷却の繰り返しで耐久試験などにも最適
○ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造
○6、8、12(丸型)、□150、□200、□250角型に対応
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報チャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」
【できること】
○ポーラス上面温度250℃までの加熱が可能
○加熱だけでなく冷却(空冷or水冷)も可能
○吸着したままでの加熱可能
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用途/実績例 | 【用途】 ○加熱したままでのウェハーの通電耐久テスト ○真空中での半導体製造プロセス ○ウェハーレベルでのボンディング ○熱硬化によるウェハーの張り合せ技術 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログチャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」
取扱企業チャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」
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