株式会社吉岡精工 チャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」

吸着しながら加熱・冷却実験が可能!ローコスト化を実現する真空チャック

「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。
ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。
加熱したままでのウェハーの通電耐久テストに使用できます。

【特徴】
○加熱冷却の繰り返しで耐久試験などにも最適
○ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造
○6、8、12(丸型)、□150、□200、□250角型に対応

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報チャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」

【できること】
○ポーラス上面温度250℃までの加熱が可能
○加熱だけでなく冷却(空冷or水冷)も可能
○吸着したままでの加熱可能

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価格情報 お問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。
用途/実績例 【用途】
○加熱したままでのウェハーの通電耐久テスト
○真空中での半導体製造プロセス
○ウェハーレベルでのボンディング
○熱硬化によるウェハーの張り合せ技術

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カタログチャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」

取扱企業チャック「ホットバキュームチャック(HoVaC)」

株式会社吉岡精工

●ポーラスチャック設計・製造・販売 ●精密研削切断装置部品 ●自動車エンジンバルブ用金型 ●電子部品搬送器材金型 ●その他各種精密装置部品の設計・製作

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