一般財団法人材料科学技術振興財団　MST ［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

最終更新日：2019-03-20 11:23:36.0
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EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS： Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。
多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。

・全元素範囲（B～U）の同時分析が可能（付属装置によりBeの検出も可）
・0.1nmφ～の細い電子線プローブで測定が可能
・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能
・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能

基本情報［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの
で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

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用途／実績例	■微小領域（～1μm）の組成分析・面分析・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析・Niシリサイドの形状、組成分析

詳細情報［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

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カタログ［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

取扱企業［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

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