ブロンコスト・ジャパン株式会社 マスフローメータ/コントローラ EL-FLOW Prestige

マスフローメータ/コントローラ EL-FLOW Prestige http://www.ipros.jp/public/product/image/d12/2000240828/IPROS565434564550005861.jpg 【仕様】 ○繰返性 : <0.2%Rd ○ターンダウン : 1:150 (アナログモード時1:50) ○マルチガス/マルチレンジ機能 :  内蔵ガスAir, N2, Ar, H2, O2, CO, CO2, He, CH4, SiH4,  NH3 C2H2, C2H4, C2H6, Kr, C3H6 #2(propene), C2H6,  C3H8, NF3, N2O, H2S, Cl2 SF6, NO, Xeおよびこれらの  うち最大5種からなる混合ガスに対応 ○セトリング時間;高速 : <500 msec ○標準 : <1 sec ○低速 : <2 sec ○運転温度範囲 : -10…70°C ○温度依存性 : ゼロ:<0.02%FS/°C;スパン:<0.025%Rd/°C ○圧力依存性 : <0.15%Rd/bar (N2での典型値);<0.02%Rd/bar  (N2での典型値(圧力補正オプション搭載時)) ○外部リーク : <2 x 10-9 mbar l/s He ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ブロンコスト・ジャパン株式会社 制御・電機機器 > FA機器 > コントローラ お問い合わせ下さい。
EL-FLOWの進化型!多機能なガス用マスフローメータ/コントローラを掲載

EL-FLOW Prestigeは新世代のブロンコスト製ガス用マスフローメータ・コントローラです。ほぼ全ての構成部品が設計し直され、多くの改良と革新が取り込まれています。ブロンコストはこの新たなシリーズに「温度差バランス技術」を導入し、優れた安定性を実現しています。動的挙動の向上のため、革新的な多段階制御ループを組み込んだ新設計・省電力マイクロプロセッサを搭載しています。新たな金属製ハウジングは、コンパクトでありながら高い堅牢性を有しています。

【特徴】
○革新的なセンサー
○独創的な層流素子
○進化したコントロールバルブ
○アップグレードされたエレクトロニクス

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関連動画マスフローメータ/コントローラ EL-FLOW Prestige

基本情報マスフローメータ/コントローラ EL-FLOW Prestige

【仕様】
○繰返性 : <0.2%Rd
○ターンダウン : 1:150 (アナログモード時1:50)
○マルチガス/マルチレンジ機能 :
 内蔵ガスAir, N2, Ar, H2, O2, CO, CO2, He, CH4, SiH4,
 NH3 C2H2, C2H4, C2H6, Kr, C3H6 #2(propene), C2H6,
 C3H8, NF3, N2O, H2S, Cl2 SF6, NO, Xeおよびこれらの
 うち最大5種からなる混合ガスに対応
○セトリング時間;高速 : <500 msec
○標準 : <1 sec
○低速 : <2 sec
○運転温度範囲 : -10…70°C
○温度依存性 : ゼロ:<0.02%FS/°C;スパン:<0.025%Rd/°C
○圧力依存性 : <0.15%Rd/bar (N2での典型値);<0.02%Rd/bar
 (N2での典型値(圧力補正オプション搭載時))
○外部リーク : <2 x 10-9 mbar l/s He

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途/実績例 ●I/Oオプションの例
■シャットオフバルブの制御
→Dサブ9ピンコネクタのピン5のON/OFF出力は、シャットオフ
 バルブの動作に用いることができます。
■パルス出力
→Dサブ9ピンコネクタのピン5に、外部へユーザー定義の周波
 数で流量を出力する機能をもたせることができます。パルス出
 力は外部積算計、デジタル指示器、制御計器などに直接供給
 することができます。
■積算流量リセット機能
→EL-FLOW Prestigeは、アラームとカウンタ機能を標準搭載して
 おります。
 積算流量をローカルR/CモジュールBRIGHTなどで表示してい
 る場合、表示器のボタン操作によりリセットする必要がありま
 す。代わりに、ピン5にカウンターリセット機能を割り当てておく
 と、外部信号によりリセット操作が可能です。

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カタログマスフローメータ/コントローラ EL-FLOW Prestige

取扱企業マスフローメータ/コントローラ EL-FLOW Prestige

BHT JAPAN-rgbHR.JPG

ブロンコスト・ジャパン株式会社

●マスフロー ●圧力計測と制御 下記メーカー100%出資の日本法人 ・Bronkhorst High-Tech B.V. (オランダ) 下記メーカー製品の販売 ・M+W instruments GmbH (ドイツ) ・Mass Flow ONLINE B.V. (オランダ) ・Bronkhorst CORI-TECH B.V. (オランダ、Bronkhorst High-Tech B.V.に統合)

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