マスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW Prestige ブロンコスト・ジャパン

EL-FLOWの進化型！多機能なガス用マスフローメータ/コントローラを掲載

EL-FLOW Prestigeは新世代のブロンコスト製ガス用マスフローメータ・コントローラです。ほぼ全ての構成部品が設計し直され、多くの改良と革新が取り込まれています。ブロンコストはこの新たなシリーズに「温度差バランス技術」を導入し、優れた安定性を実現しています。動的挙動の向上のため、革新的な多段階制御ループを組み込んだ新設計・省電力マイクロプロセッサを搭載しています。新たな金属製ハウジングは、コンパクトでありながら高い堅牢性を有しています。

【特徴】
○革新的なセンサー
○独創的な層流素子
○進化したコントロールバルブ
○アップグレードされたエレクトロニクス

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - https://www.bronkhorst.com/ja-jp/products-jp/gas-f…

基本情報マスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW Prestige

【仕様】
○繰返性 : <0.2%Rd
○ターンダウン : 1:150 (アナログモード時1:50)
○マルチガス/マルチレンジ機能 :
　内蔵ガスAir, N2, Ar, H2, O2, CO, CO2, He, CH4, SiH4,
　NH3 C2H2, C2H4, C2H6, Kr, C3H6 #2(propene), C2H6,
　C3H8, NF3, N2O, H2S, Cl2 SF6, NO, Xeおよびこれらの
　うち最大5種からなる混合ガスに対応
○セトリング時間；高速 : <500 msec
○標準 : <1 sec
○低速 : <2 sec
○運転温度範囲 : -10…70°C
○温度依存性 : ゼロ：<0.02%FS/°C；スパン：<0.025%Rd/°C
○圧力依存性 : <0.15％Rd/bar (N2での典型値)；<0.02％Rd/bar
　(N2での典型値(圧力補正オプション搭載時))
○外部リーク : <2 x 10-9 mbar l/s He

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途／実績例	●I/Oオプションの例 ■シャットオフバルブの制御 →Dサブ9ピンコネクタのピン5のON/OFF出力は、シャットオフ　バルブの動作に用いることができます。 ■パルス出力 →Dサブ9ピンコネクタのピン5に、外部へユーザー定義の周波　数で流量を出力する機能をもたせることができます。パルス出　力は外部積算計、デジタル指示器、制御計器などに直接供給　することができます。 ■積算流量リセット機能 →EL-FLOW Prestigeは、アラームとカウンタ機能を標準搭載して　おります。　積算流量をローカルR/CモジュールBRIGHTなどで表示してい　る場合、表示器のボタン操作によりリセットする必要がありま　す。代わりに、ピン5にカウンターリセット機能を割り当てておく　と、外部信号によりリセット操作が可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

カタログマスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW Prestige

取扱企業マスフローメータ/コントローラ　EL-FLOW Prestige

ブロンコスト・ジャパン株式会社

●マスフロー ●圧力計測と制御下記メーカー100%出資の日本法人・Bronkhorst High-Tech B.V. (オランダ) 下記メーカー製品の販売・Bronkhorst High-Tech B.V. (旧Bronkhorst CORI-TECH B.V.製品を含む) (オランダ) ・Bronkhorst Instruments GmbH (旧M+W instruments GmbH製品を含む) (ドイツ) ・Mass Flow ONLINE B.V. (オランダ)