株式会社ジャステム 厚さ測定機(ATM-01型)

厚さ測定機(ATM-01型) http://www.ipros.jp/public/product/image/fb0/2000240887/IPROS7547057573021852013.jpg ・静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。 ・測定前にセンサは校正用ゲージを使用し、自動で校正を行います。 ・測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。 株式会社ジャステム 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 半導体検査/試験装置 ATM-01
厚さ測定機(ATM-01型) 製品画像

厚さ測定機(ATM-01型) 製品画像

エッチング装置へ組込み、処理前後の厚み測定

エッチング装置へ組込み、処理前後の厚み測定を行う装置で、エッチングレート の管理を行う為の測定機です。ウェーハ搬送はエッチング装置本体のロボットにて行います。装置はローダ側とアンローダ側に各1台ずつ設置します。

基本情報厚さ測定機(ATM-01型)

・静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。
・測定前にセンサは校正用ゲージを使用し、自動で校正を行います。
・測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。

価格 -
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発売日 取扱い中
型番・ブランド名 ATM-01
用途/実績例 半導体業界よりご注文を頂いております。
よく使用される業種 産業用機械、電子部品・半導体、製造・加工受託

取扱企業厚さ測定機(ATM-01型)

ロゴマーク赤縦.png

株式会社ジャステム

○半導体産業向け自動機の設計・製作 →工程保証用検査装置、搬送装置など  ・厚さ測定機、厚さ仕分け機、ウェーハ搬送装置  ・ローディング・アンローディング装置、専用加工装置 →自社開発の特許技術 ○その他産業向け自動機の設計・製作 →自動車産業、エネルギー産業、医薬品産業向け  ・画像処理装置、厚さ測定機、専用加工搬送装置 →機器の開発・設計・製作

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