ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、SiCウェーハ単体の厚みを測定する装置です。
・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。
・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。
・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。
基本情報SiCウェーハ厚さ測定機 (TME-05型)
・カメラによる外観撮像が可能です。(オプション)
・Siウェーハ(テープ付含む)の厚み測定も可能です。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TME-05 |
用途/実績例 | 半導体業界よりご注文を頂いております。 |
取扱企業SiCウェーハ厚さ測定機 (TME-05型)
SiCウェーハ厚さ測定機 (TME-05型)へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。