有限会社ソーラーリサーチ研究所 排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
- 最終更新日：2018-01-17 15:32:39.0
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クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
基本情報排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
1.排気回収機構：ＳｉＣウエハ・基板用 クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWASｉＣ型」は、保持するウエハ
に対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。
ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびサファイア基板と接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。 クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。 作動面とサファイア基板との間隙を通過した排出空気は、周囲を取り巻くフードにより補足され、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません
◎適応
・ＳｉＣ基板
・サファイアウエハ
・ヒ化ガリウムウエハ（GaAs)
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | フロートチャックWA-SiC型 |
| 用途／実績例 | SiCウエハ・SiC基板の非接触ローダ・アンローダ搬送装置 |
取扱企業排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
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非接触搬送装置「フロートチャック」（特許自社開発）を用いたウエハ、液晶ガラス、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
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