MEMSウェーハ厚み・段差測定機 (TME-06型)
MEMSウェーハ厚み・段差測定機 (TME-06型) http://www.ipros.jp/public/product/image/1e4/2000240934/IPROS2155032146642113913.jpg 1.Siウェーハ厚み測定  2.Si段差測定  3.Si段差底部厚み測定  4.Si段差開口部寸法 (測定項目は御要望に応じます。御相談下さい。) 株式会社ジャステム 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 半導体検査/試験装置 TME-06
  • Si段差加工されたMEMS用Siウェーハの厚さ及び、Si段差部の各種測定を非接触、自動にて行う装置です。
    株式会社ジャステム
    ・光学式厚み測定器、レーザ変位計、画像処理使用により、Si段差付きウェーハの以下の項目の非接触測定を行います。
    ・ウェーハのカセットからの取出し、測定部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。
    ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。
    ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。
    ・HOST通信による自動運転の対応も可能です。
    ・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。
  • TME-06
    TME-06

基本情報MEMSウェーハ厚み・段差測定機 (TME-06型)

1.Siウェーハ厚み測定 
2.Si段差測定 
3.Si段差底部厚み測定 
4.Si段差開口部寸法
(測定項目は御要望に応じます。御相談下さい。)

価格

-
※お問い合わせください

価格帯

納期

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

TME-06

用途/実績例

半導体業界よりご注文を頂いております。

よく使用される業種

産業用機械、機械要素・部品、製造・加工受託

取扱会社MEMSウェーハ厚み・段差測定機 (TME-06型)

○半導体産業向け自動機の設計・製作 →工程保証用検査装置、搬送装置など  ・厚さ測定機、厚さ仕分け機、ウェーハ搬送装置  ・ローディング・アンローディング装置、専用加工装置 →自社開発の特許技術 ○その他産業向け自動機の設計・製作 →自動車産業、エネルギー産業、医薬品産業向け  ・画像処理装置、厚さ測定機、専用加工搬送装置 →機器の開発・設計・製作

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