φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。
厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。
それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。
基本情報手動厚さ測定機（STM-07型）
φ２”、φ４”またはφ６”サイズ対応
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | STM-07 |
| 用途／実績例 | 半導体業界よりご注文を頂いております。 |
取扱企業手動厚さ測定機（STM-07型）
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