レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。
・ステージを回転する事で、A直径(3ポイント)・B直径を測定することが出来ます。
・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。
・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。
基本情報非接触式 直径測定器(DMC-02型)
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | DMC-02 |
用途/実績例 | 半導体業界よりご注文を頂いております。 |
取扱企業非接触式 直径測定器(DMC-02型)
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