株式会社ジャステム ウェーハシュータ(SWU-01型)

加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し水没させるための装置です

ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に
ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。

基本情報ウェーハシュータ(SWU-01型)

・ウェーハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェーハを収納できる位置まで下降します。
・テフロンカセットは4個セットできます。
・左右二列でカセット4個収納ですが、一列でカセット2個収納もあります。

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型番・ブランド名 SWU
用途/実績例 半導体業界よりご注文を頂いております。

取扱企業ウェーハシュータ(SWU-01型)

ロゴマーク赤縦.png

株式会社ジャステム

○半導体産業向け自動機の設計・製作 →工程保証用検査装置、搬送装置など  ・厚さ測定機、厚さ仕分け機、ウェーハ搬送装置  ・ローディング・アンローディング装置、専用加工装置 →自社開発の特許技術 ○その他産業向け自動機の設計・製作 →自動車産業、エネルギー産業、医薬品産業向け  ・画像処理装置、厚さ測定機、専用加工搬送装置 →機器の開発・設計・製作

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