φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。
作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。
基本情報外観検査装置 (OSI-01型)
・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。
・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | OSI-01 |
用途/実績例 | 半導体業界よりご注文を頂いております。 |
取扱企業外観検査装置 (OSI-01型)
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