溶液をスピンコートにより塗布する装置です
本機械は、シリコンウェーハに、溶液をスピンコートにより塗布し、近赤外線ランプにより乾燥する装置です。
基本情報スピンコータ(SSC-01型)
・操作盤はハンディタイプで、本装置の各作業面四方向へ取り回し可能です。
・ローダ側、アンローダ側のカセットは各2個セット可能です。
・スピン部は最高回転数6,000rpmで、プログラムによる3段階の回転数制御を行います。
・ベークは近赤外ランプ式で行います。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | SSC-01 |
用途/実績例 | 様々な業界よりご注文を頂いております。 |
取扱企業スピンコータ(SSC-01型)
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