L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』
L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』 http://www.ipros.jp/public/product/image/abd/2000241780/IPROS5788352250919806387.jpg 【その他取扱商品】 [生産機器] ○投影露光装置(LED光源搭載) ○塗布装置/印刷装置 ○ケミカル処理装置(アンポックファーイースト社製) ○高精度ルーター機(ターリーテクノロジー社製) ○ブラシ式基板クリーナー(キューブリック社製) ○X線多層板検査装置(ソフテックス社製) ○高精度穴検査装置(ワールドテック社製) ○自動ビン打ちテープ貼り機(タイヨー工業社製) ○自動乾燥炉(グローアップ社製) [分析装置] ○硫酸銅めっき液全自動管理装置 ○硫酸銅めっき液添加剤測定装置 ○酸化膜・金属膜厚測定装置 ○熱リン酸中のSi濃度分析装置 ○電解・無電解液の各種メタル分析装置 ○3D加熱表面形状測定装置 ○銅膜厚測定器 [実験・評価用装置] ○R&D用塗布装置 ○R&D用露光装置 ○硫酸銅めっき液添加剤測定装置 ○酸化膜・金属膜厚測定装置 ○3D加熱表面形状測定装置 [光学コンポーネント製品] ○メタルハライド光源装置 ○露光装置用UV-LED光源 ○露光装置用超高圧水銀ランプハウス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 株式会社サーマプレシジョン 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > スパッタリング装置
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基本情報L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』

【その他取扱商品】
[生産機器]
○投影露光装置(LED光源搭載)
○塗布装置/印刷装置
○ケミカル処理装置(アンポックファーイースト社製)
○高精度ルーター機(ターリーテクノロジー社製)
○ブラシ式基板クリーナー(キューブリック社製)
○X線多層板検査装置(ソフテックス社製)
○高精度穴検査装置(ワールドテック社製)
○自動ビン打ちテープ貼り機(タイヨー工業社製)
○自動乾燥炉(グローアップ社製)
[分析装置]
○硫酸銅めっき液全自動管理装置
○硫酸銅めっき液添加剤測定装置
○酸化膜・金属膜厚測定装置
○熱リン酸中のSi濃度分析装置
○電解・無電解液の各種メタル分析装置
○3D加熱表面形状測定装置
○銅膜厚測定器
[実験・評価用装置]
○R&D用塗布装置
○R&D用露光装置
○硫酸銅めっき液添加剤測定装置
○酸化膜・金属膜厚測定装置
○3D加熱表面形状測定装置
[光学コンポーネント製品]
○メタルハライド光源装置
○露光装置用UV-LED光源
○露光装置用超高圧水銀ランプハウス

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価格

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価格帯

納期


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発売日

取扱い中

用途/実績例

【用途】
○各種薄膜形成、シード層形成(過マンガン酸・無電解めっきからの置換)
○膜種例(Ti、Cu、Al、ITO、IZO、SiN、SiO2、Al2O3、Ni、etc.)

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

よく使用される業種

産業用電気機器、電子部品・半導体、IT・情報通信、その他製造、教育・研究機関、その他

カタログL/S 2μm対応『室温スパッタ装置』

  • 【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
    L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』は、 基板とプラズマ領域が分離されており、熱ダメージを抑えつつ、高い密着力を実現する装置です。
    510mm×610mm(最大730mm×920mm)の大型基板に対応し、基板2枚並行処理も可能です。
    各種薄膜形成、シード層形成(過マンガン酸・無電解めっきからの置換)などの用途に適しています。

    【特長】
    ○精密有機パッケージ基板に最適
    ○高い生産性
    ○膜種例:Ti、Cu、Al、ITO、IZO、SiN、SiO3、Al2O3、Ni、etc.
    [PDF:550KB]

取扱会社L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』

株式会社サーマプレシジョン

プリント基板・半導体・FPDに関する製造装置及び検査・分析装置の販売。 【主要品目】 ・投影露光装置 ・シャドウモアレ式反り測定装置 ・めっき液分析装置 ・アルファコーター

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