電源システム『Ascent DC電源』アドバンスドエナジージャパン

アーク制御技術を実装！安定した電力供給のできる電源システム！

『Ascent DC電源』は、アークの影響を受けやすい
プロセス管理に最適化されており、精度の良い電力供給により、
再現性の高い高品質の薄膜の成膜を可能にします。

電源の信頼性は厳密な認定プログラムによって保証されています。

最適化されたアーク制御（Arc Management System）技術で
アークを消去することにより、膜へのダメージを防ぐとともに
プロセスを阻害する要因を取り除きます。

【特長】
■30、40、60 kWモデル
■特許取得済み／特許申請中のアーク制御（Arc Management System）技術
■セットポイント補償（Set Point Compensation）技術
■VFPソフトウェア
■リモートフロントパネルとパッシブフロントパネル

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.advanced-energy.co.jp/jp/Ascent.html

基本情報電源システム『Ascent DC電源』

【利点】
■フィールドでの信頼性の向上
■最適化されたアーク制御能力により膜質、生産性、スループット、歩留まりが向上
■容易なスパッタリングプロセス用電源の統合
　・ソーラーPV
　・FPD
　・工業用コーティング
　・ウェブコーティング

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	Ascent電源は、以下のような一連の高信頼性の基準を満たすよう設計されており、各試験に合格しています。【実績】 ■MTBF（平均故障間隔）＞150,000時間 ■高温バーンイン ■高温・電気的ストレス試験 ■HALT（高加速寿命試験）/HASS（高加速ストレススクリーニング） ■ファームウェアの信頼性 ■最悪状況解析法 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。