SiC半導体評価装置「SemiScope」フォトンデザイン

フォトルミネッセンス(PL)イメージング法を用いたSiC半導体評価装置

「SemiScope」は、1μｍ以下の分解能でフォトルミネッセンス(PL)画像を測定することができるPLイメージング装置です。
試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで、約33億画素の解像度で6インチウェハ全面のPL画像を得ることができます。
SiCウェハの結晶欠陥を可視化。非接触・非破壊検査がPLイメージング法で短時間測定可能です。

【特徴】
○SiC半導体評価装置
○SiCウェハの結晶欠陥を可視化
○非接触、非破壊検査
○PLイメージング法のため短時間測定が可能

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関連リンク - http://www.photondesign.co.jp/products.html#grpSic

基本情報SiC半導体評価装置「SemiScope」

【ラインナップ】
○高速PLイメージング装置 SemiScope PLI-SR
→量産工程装置を目指し、フォトンデザインのPLイメージング技術と
　高速化技術とを融合
○PLイメージング装置 SemiScope PLI-200
→SiC評価用PLイメージング装置の標準モデル
○PLスペクトル・イメージング装置 SemiScope PLIS-200
→PLイメージング測定機能に加え、結晶欠陥部のスペクトルを
　測定することができるSiC半導体用PLイメージング装置

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