株式会社ダイナミックス バッチ式ウェーハ移し換え機『D-Trans』
- 最終更新日:2016-03-15 13:02:39.0
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発塵防止しウェーハを確実に保護!一括移載も可能!
『D-Trans』は、ウェーハ持上げ時の過負荷監視、
トランスファー時の異常監視などによりウェーハを確実に保護する、
バッチ式ウェーハ移し換え機です。
ハンドリング時にモータを加減速制御し、ショックを最小として
発塵を防止します。
【特長】
■全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載
■ウェーハ保持部はV溝形状としウェーハの端面だけをハンドリング
■最適速度制御により、短時間での移載が可能
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報バッチ式ウェーハ移し換え機『D-Trans』
【モデル】
■D-Trans8
■D-Trans6
■D-Trans5
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログバッチ式ウェーハ移し換え機『D-Trans』
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