株式会社フェローテックホールディングス CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC各種物性値」

SiC製品の代表特性値、不純物濃度など各種物性値を紹介!

三井造船で培った独自のCVD-SiCで製作されたアドマップのSiC製品は、
超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えており、
あらゆるフィールドで使用されております。

【不純物拡散係数(cm2 / sec, at : 1300℃)】
○Fe 6.5×10^-14
○Co 1.3×10^-13
○Cr 6.3×10^-14
○Au 8.6×10^-14

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基本情報CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC各種物性値」

【代表特性値】
[(111)配向牲材料 / 等方性材料]
○密度:3.21 / 3.21(g/cm3)
○曲げ強度(室温):82 / 539(MPa)
○引張り強度(室温):294 / - (MPa)
○ヤング率(室温):478 / 447(GPa)
○硬さ:HK 3500 / -
○熱膨張係数(室温〜1000℃):4.5×10^-6 / 4.5×10^-6(1/K)
○熱伝導率 (板厚方向): - / 264(W/m・K)
○熱伝導率 (面内方向):280 / 236(W/m・K)
○比熱:0.65 / 0.67(J/g・K)
○比抵抗:10^4 ≦ / ≦10^2(Ω・cm)

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カタログCVD-SiC(化学蒸着法)「SiC各種物性値」

取扱企業CVD-SiC(化学蒸着法)「SiC各種物性値」

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装置関連事業 太陽電池関連事業 電子デバイス事業 【取り扱い製品】 ○真空シール ○石英製品 ○セラミックス製品 ○半導体用シリコンインゴット ○シリコンウェーハ加工 ○シリコン単結晶引上装置 ○シリコン多結晶製造装置 ○角切りソー装置 ○石英るつぼ ○角槽るつぼ ○太陽電池用シリコンインゴット ○太陽電池用ウェート ○サーモモジュール ○磁性流体 ○装置部品洗浄 ○工作機械 ○ソーブレード ○表面処理

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