株式会社フェローテックホールディングス 「SiCとは?」
- 最終更新日:2016-04-20 16:02:46.0
- 印刷用ページ
半導体、産業機械、原子力、航空宇宙分野に最適!高性能な化合物“SiC”
SiC(Silicon Carbide :炭化ケイ素)はシリコン(Si)と炭素(C)が1対1で結合した化合物で、隕石中にわずかに確認されているだけで、天然にはほとんど存在しません。
SiCはセラミックスに分類され、その高硬度、耐酸化性、化学的安定性、耐熱性などの特徴から、古くから研磨剤や耐火材、発熱体などに用いられてきました。近年では半導体素子製造工程で用いられるウェハボートやチューブ、シリコンウェハの代替となるダミーウェハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。
【特徴】
○化学的に安定している
○酸化しにくい
○熱に強い
○硬い
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報「SiCとは?」
【アドマップのSiC】
○アドマップではCVD法でSiCを製造している
○CVD法によるSiCは緻密で高純度であるという特徴がある
○アドマップが提供するのはβ-SiCと呼ばれる3C構造のSiC
→3C以外はすべてα-SiCに分類される
○SiCは六方晶(2H,4H,6H)、立方晶(3C)、菱面体晶(15R)など
様々な結晶多形を持っている
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。 |
用途/実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログ「SiCとは?」
取扱企業「SiCとは?」
「SiCとは?」へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。