ウォーターベーパークライオポンプアイ・アール・システム

ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮できます！！

RICOR社製MicroStarはスターリングクーラー方式の真空補助ポンプです。ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善し真空引き時間も大幅に短縮できます。GMタイプのクライオポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。

関連リンク - https://www.irsystem.com/

基本情報ウォーターベーパークライオポンプ

ツインピストン型リニア式スターリングクーラー
ウォーターベーパーポンプ・スピード：7,000L/S（＠シェラウドISO250）

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型番・ブランド名	RICOR社製MicroStar
用途／実績例	半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプ

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取扱企業ウォーターベーパークライオポンプ

株式会社アイ・アール・システム

赤外線関連機器の輸入販売開発を行う商社です。アメリカ・イスラエル・ドイツ・ロシア・イタリアなど世界各国から最先端技術をご紹介しております。取り扱い機器は黒体炉、コリメーター、分光器、干渉計、赤外カメラ、赤外ビューワー、CO2濃度モニタ、ウェハ温度モニタなど赤外線機器から赤外センサ、窓、レンズ、フィルタなど赤外部品まで幅広く取り扱い。その他大型三脚などマウントも取り扱っております。測定サービスや開発受託も行っており、機器レンタルもいたします。