日立Astemo＆ナガノ株式会社 Aera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ
- 最終更新日：2016-05-31 17:26:45.0
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半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。
FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。
基本情報Aera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ
特長
・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定
・エラストマー（ゴム）シール
・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部
・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ
・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
・1x10-7Pa・m3/sec（He）以下の外部リークレート
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Aera |
| 用途／実績例 | 半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションなど。 |
カタログAera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ
取扱企業Aera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ
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●日立オートモティブシステムズグループ製品の販売 ・鉄道車両用オイルダンパー ・地震振動対策／産業用オイルダンパー ・減震くんスマート ・ルーツ流量計、ルーツガスメータ ・緊急遮断弁 ・ガバナ ・ＰＦＡ超音波渦流量計 ・アツギプレス（小型油圧プレス） ●長野計器グループ製品の販売 ・圧力計、デジタル圧力計、圧力センサ ・差圧計、差圧センサ、液面計 ・温度計 ・流量計 ・スーパー電空レギュレータ ・エアリークテスタ ・リーク試験装置 ●日立グループ製品の販売 ・マスフローコントローラ ・オイルフリーベビコン ●その他産業機器の販売 ・電気集塵機 ・酸洗管、ＢＡ管、ＥＰ管 ・継手、バルブ ・サニタリ配管材 ・圧力調整器 ・液化ガス残量計 ●各種装置の販売 ・リーク試験装置 ・電気集塵装置 ・半導体材料ガス供給装置 ・半導体液体材料気化装置 ・計装盤 ・制御盤
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