日立Astemo＆ナガノ株式会社 Aera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラ
- 最終更新日：2016-05-31 17:23:53.0
- 印刷用ページ
高精度・信頼性のメタルシールモデル
FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、
メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。
業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ（MFC）と素早く簡単に交換できます。
基本情報Aera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラ
特長
・高速応答性 － 設定値入力後1秒未満で流量安定
・耐腐食設計
・メタルシール採用
・VCR準拠の接続部
・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ
・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
・1x10-11Pa・m3/sec（He）以下の外部リークレート
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Aera |
| 用途／実績例 | 半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションなど |
カタログAera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラ
取扱企業Aera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラ
-
-
●日立オートモティブシステムズグループ製品の販売 ・鉄道車両用オイルダンパー ・地震振動対策／産業用オイルダンパー ・減震くんスマート ・ルーツ流量計、ルーツガスメータ ・緊急遮断弁 ・ガバナ ・ＰＦＡ超音波渦流量計 ・アツギプレス（小型油圧プレス） ●長野計器グループ製品の販売 ・圧力計、デジタル圧力計、圧力センサ ・差圧計、差圧センサ、液面計 ・温度計 ・流量計 ・スーパー電空レギュレータ ・エアリークテスタ ・リーク試験装置 ●日立グループ製品の販売 ・マスフローコントローラ ・オイルフリーベビコン ●その他産業機器の販売 ・電気集塵機 ・酸洗管、ＢＡ管、ＥＰ管 ・継手、バルブ ・サニタリ配管材 ・圧力調整器 ・液化ガス残量計 ●各種装置の販売 ・リーク試験装置 ・電気集塵装置 ・半導体材料ガス供給装置 ・半導体液体材料気化装置 ・計装盤 ・制御盤
Aera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
