柔軟な対応と30年の実績！多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サービス
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。
様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。
膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、35年の実績をもとに、マスキング成膜やメタルマスクでのパターン形成にも対応いたします。
お気軽にご相談下さい。
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報『機能性薄膜の受託加工サービス』
【サービス紹介】
■膜種
・金属膜：Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など
・酸化膜：Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO など
・炭化膜：SiC、TiC、WC、BC など
・窒化膜：AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など
・二元蒸着による合金膜の生成
・各種積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al など
■基板材質
・シリコンウエハ など
・ガラス材：石英、ホウ系酸ガラス など
・セラミックス：サファイヤ材、SiC材、AIN材 など
・金属材：Al材、Ti材、SUS材 など
・樹脂：PET、PEN、PI、PC など
・複合材：レジスト付き基板、パターン形成済み基板 など
※立体物への薄膜形成もお気軽にご相談ください。
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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