素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工
東邦化研株式会社では、イオンプレーティングや真空蒸着に加えて、スパッタやP-CVDによる各種表面処理の受託加工を長年行っております。
試作開発案件から、中・小ロットの生産案件までと、幅広く対応させていただいております。
単金属、酸化物、窒化物、炭化物等、各種材料による薄膜形成のニーズにお応えいたします。
【サービスの特長】
■試作、小ロットにも対応
■各種材料に対応
■仕様・材料・プロセスに合った装置を使い分け
■環境に配慮
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報『薄膜コーティングサービス』
【サービス対象】
[膜種]
■反応性膜：SiO2、Al2O3、TiN、SiC、SiON 等
■積層膜：Au/Ni/Cr//基板、Au/Pd/Ti//基板、SiO2/Al//基板 等
■2元蒸着 ：Au-Sn、Ag-Sn、Ni-Cr 等
[基板材質]
■ガラス基材
■セラミック系、Si-Wf
■金属基材：Al材、Ti材、SUS材など
■樹脂：PI、PC、PETなど
【各種装置】
■真空蒸着・IP成膜小型機
・成膜エリア：φ500mm程度
■真空蒸着・IP成膜中型機
・成膜エリア：φ500mm×2治具
■真空蒸着・IP成膜大型機
・成膜エリア：□800mm程度
■スパッタ装置
・成膜エリア：φ300×～t50mm
■P-CVD装置
・成膜エリア：φ300×～t20mm
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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