カーボンサセプタークアーズテック

高温に強く、ヒートショックに耐えるクリアーカーボン！ウェーハの温度分布を均一に制御！

金属材料や他のセラミックス材料に見られない特性を活かしたクアーズテック株式会社の各種炭素・黒鉛製品は、半導体をはじめ様々な産業で利用されています。

高温に強く、ヒートショックに耐える製品で、ウェーハの温度分布を均一に制御もできます。

【特長】
■ 高純度
■ ウェーハの温度分布を均一に制御
■ 優れた高温耐久性

※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください

基本情報カーボンサセプター

【用途】
エピタキシャルプロセス用ウェーハキャリア

【材料】
高純度SiCコーティング黒鉛　CLEAR CARBON

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カタログカーボンサセプター

取扱企業カーボンサセプター

クアーズテック株式会社

クアーズテックでは、半導体関連をはじめ、液晶関連、一般産業関連、環境関連、バイオ・医療関連などの各分野に向けて先端材料・高機能部品を提供しています。 ○半導体関連事業　半導体製造プロセスに必要な石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品を　はじめ、各種ファインセラミックス製品などを開発・供給しています ○液晶関連事業　フラットパネルディスプレイの大画面化により、より高精度化が求め　られるフォトマスク基板をはじめ、フラットパネルディズプレイ生産の　合理化・効率化をサポートする多彩な製造部材を提供しています。 ○一般産業関連事業　運輸・電機など様々な製品に組み込まれるモーターの電流を供給する　カーボンブラシ、短時間で高温に昇温が可能な産業用ヒーター、　電子部品の焼成用耐火物など、無機材料の特性を生かした製品を　供給しています。 ○環境関連事業　高温用熱交換器など、環境保全や環境負荷の低減に貢献する製品を供給　しています。 ○バイオ・医療関連事業　ハイドロキシアパタイト人工骨補填材といった高い技術力と加工技術を駆使した製品を供給しています。　