株式会社SPD研究所 薄膜製造装置 KV-100
- 最終更新日:2016-07-05 10:24:01.0
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薄膜製造装置 KV-100
SPD方式小型低コスト成膜装置です。
最大基盤サイズ: 100mm x 100mm
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
こちらのカタログは英語版となっております。
基本情報薄膜製造装置 KV-100
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用途/実績例 | 詳しくはお問い合わせください。 |
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