株式会社サクラクレパスプラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

最終更新日：2024-04-05 13:39:24.0
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プラズマ処理効果の「見える化」を実現！プラズマインジケータ(TM) PLAZMARK(R)で是非ご体感下さい！

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。
プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。
変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。
また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計が必要です）。
プラズマガス種は、酸素、窒素、アルゴン、四フッ化炭素（CF4）、水素、塩素、アンモニアなどです。

★下記に分かりやすく説明した動画を公開しております。

【特長】
■装置内に置くだけ、煩雑な機器操作は不要
■処理後、すぐに「色」で判断できる
■段階的に色が変化するため、面内分布を細かく評価できる
■高額な評価装置が不要なため、設備経費が軽減できる
■評価時間が短縮でき、総合的な生産性の向上が期待できる

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

【製品種類】
[クリーニング用　実装工程／後工程向け]
○減圧プラズマでの処理効果を簡便にチェック
→配線銅めっき前の表面改質
→ワイヤーボンディング・パッケージング前のクリーニング
○UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用可能
[耐熱性ラベル型]
○色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、
　ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現
○フレキシブル性、接着性があるので、基板表面や装置内に
　自由に貼り付け評価できる
[大気圧プラズマ用　常圧処理工程／洗浄工程用]
○新規有機色材の開発により、クリーニング用よりも高感度化を実現
○プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、
　大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適している
○UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できる
[ウエハ型]
○ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、
　普段と同じハンドリングで装置に設置でき、簡単に面内分布を見える化できる

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