株式会社サクラクレパス プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK ウエハ型』
- 最終更新日:2024-04-05 13:39:24.0
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普段と同じハンドリングで装置に設置!面内分布を簡単に可視化
『PLAZMARK ウエハ型』はウエハプロセス向けの
プラズマ処理効果の評価ツールです。
ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることで
簡単に面内分布の可視化が可能。
基板サイズや材質、変色感度は要望に応じて対応します。
【特長】
■無機色材の採用で清浄性を確保
■放出ガスを極限まで低減
■400℃の耐熱性
■基板サイズ、材質は要望に応じて対応
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK ウエハ型』
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用途/実績例 | ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 |
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