東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。
金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。
機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！
柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！
また、本資料では各コーティング法の特徴の他、コーティング事例やパターン形成についても掲載しています。
ご興味のある方は資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報資料進呈『表面処理薄膜コーティングに関する技術資料』
【掲載内容】
■湿式めっきと乾式めっき ■真空蒸着法
■イオンプレーティング法 ■スパッタリング法
■プラズマCVD法 ■各種成膜法の特徴
■コーティング事例 ■パターン成膜 ほか
【各種成膜法の概要】
■真空蒸着法
・膜にしたい材料を真空中で蒸発(昇華)させ、その蒸気が基板に到達して堆積することで膜を形成する方法
■イオンプレーティング法
・蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、基板にマイナスの電荷を印加して蒸発粒子を引き付けて堆積し、膜を形成する方法
■スパッタリング法
・プラズマ等により高いエネルギーをもった粒子を材料に衝突させ、その衝撃で出た材料成分の粒子を基板上に堆積させることで膜を形成する方法
■プラズマCVD法
・膜としたい元素を含むガスを導入し、プラズマにより励起や分解をさせて、基板表面で吸着、反応等を経て膜を形成する方法
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【対象物】 ガラス、セラミック、樹脂材、金属材、Siウエハなど多岐にわたり、立体物にも対応可能 |
カタログ資料進呈『表面処理薄膜コーティングに関する技術資料』
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