株式会社フェローテックホールディングス 磁性流体防塵シール『Exclusion Seal』

半導体・液晶・クリーン環境用に最適!完璧なシール効果の磁性流体防塵シール

『Exclusion Seal』の基本原理は、磁気回路を形成するためのユニットとして、
永久磁石、N極とS極、2つの磁極のためのボールピースからなっており、
この磁気回路ユニットに磁性シャフトを通すことによって、
磁束がシャフトとボールピースのラジアルギャップに集中し、
そのギャップ部に磁性流体を充填すると液状のOリングシールが形成されます。

この技術を応用して現在ではOA、FA機器はもちろん、クリーンルームに
おける各種ロボット搬送システムなどに採用。完璧なシール効果により
超クリーン環境を実現しました。

【磁性流体とは】
■磁性流体は10ナノメートル程度の磁性超微粒子を
 液体中に分散させたコロイド状の液体
■外部からの磁場の作用があっても粒子とベース液との
 分離や凝集が起こらない

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報磁性流体防塵シール『Exclusion Seal』

【主な仕様】
[寸法]
■シャフト外径:φ10~φ150
■装着部内径:φ20~φ170
■シール内径:φ10.3~φ150.4
■シール外径:φ20~φ170
■シール厚み:2.5~6

[その他の仕様(参考)]
■使用温度範囲:室温~70℃(結露なきこと)
■ラジアルギャップ:0.15~0.25mm
■シャフト許容回転数:100~10000rpm
■シール耐圧:1000Pa
■クリーン度:0.3μm以上0

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用途/実績例 【応用例】
■ハードディスクドライブ
■クリーンロボット(大気・真空)
■クリーン搬送システム
■レーザープリンター
■各種クリーンモータ など

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取扱企業磁性流体防塵シール『Exclusion Seal』

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株式会社フェローテックホールディングス

装置関連事業 太陽電池関連事業 電子デバイス事業 【取り扱い製品】 ○真空シール ○石英製品 ○セラミックス製品 ○半導体用シリコンインゴット ○シリコンウェーハ加工 ○シリコン単結晶引上装置 ○シリコン多結晶製造装置 ○角切りソー装置 ○石英るつぼ ○角槽るつぼ ○太陽電池用シリコンインゴット ○太陽電池用ウェート ○サーモモジュール ○磁性流体 ○装置部品洗浄 ○工作機械 ○ソーブレード ○表面処理

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