株式会社フェローテックホールディングス 真空シール『ソリッドシャフトフェローシール』
- 最終更新日：2017-12-26 09:40:50.0
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株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する
高品質なシールをご提供しています。
『ソリッドシャフトフェローシール』には、ミニチュアタイプ、
スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、
幅広い用途に応じて機種が設定してあります。
シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、
キー溝機構を標準品として定めており、その他オプションとして、
フラット面、ネジ付、及び穴付等の設定も可能です。
【特長】
■高温・高荷重、高速回転使用に対応できる水冷タイプあり
（ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除く）
■ハーメティックシーリングが可能
■測定不能な漏れを防止
■ロングライフ
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報真空シール『ソリッドシャフトフェローシール』
【ラインアップ・主な仕様】
[ミニチュアタイプ]
■シャフト外径：004、005、006
■許容伝達トルク[kg・cm]：5.8、6.4、6.4
[スルーホールタイプ]
■シャフト外径：006、010、012、020
■許容伝達トルク[kg・cm]：9.7、62、124、615
[フランジ付タイプ]
■シャフト外径：006、010、012、020
■許容伝達トルク[kg・cm]：9.7、62、124、615
[ヘビーデューティタイプ]
■シャフト外径：020、025、030、040、050
■許容伝達トルク[kg・cm]：616、1066、1706、3413、6106
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取扱企業真空シール『ソリッドシャフトフェローシール』
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装置関連事業 太陽電池関連事業 電子デバイス事業 【取り扱い製品】 ○真空シール ○石英製品 ○セラミックス製品 ○半導体用シリコンインゴット ○シリコンウェーハ加工 ○シリコン単結晶引上装置 ○シリコン多結晶製造装置 ○角切りソー装置 ○石英るつぼ ○角槽るつぼ ○太陽電池用シリコンインゴット ○太陽電池用ウェート ○サーモモジュール ○磁性流体 ○装置部品洗浄 ○工作機械 ○ソーブレード ○表面処理
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