ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展] シグマ光機

検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分解能の位置決め装置です。

独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。
ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。
可動域は20mm~300mm（分解能によりラインナップが異なります。）
コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。
各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。

真空対応品もラインナップしております。
真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。

関連リンク - https://www.global-optosigma.com/jp/

基本情報ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

OPIE'19内のポジショニングEXPOに出展致しました。
日時：2019年4月24日から26日
　　　10:00~17:00
場所：パシフィコ横浜
小間番号：E-17
展示物：1nm分解能位置決め装置、真空対応1nm分解能位置決めステージ

価格情報	50万円以上
納期	お問い合わせください ※1.5ヶ月
型番・ブランド名	10nmフィードバックステージシステム
用途／実績例	光学(放射光を含む)研究分野各種検査装置(電子線顕微鏡、蛍光顕微鏡など) 特殊加工装置(微小スクラッチなど)

ラインナップ

型番	概要
FS-1020UPX	リニアエンコーダ内蔵1nm分解能位置決めステージ 20mmストローク
FC-901U	1nm分解能位置決めステージ用のコントローラ
FC-511	10nm分解能位置決めステージコントローラ
FS-3200PX	10nm分解能位置決めステージ、可動範囲：200mm

カタログナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

取扱企業ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステムレーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ